簡要概述：
Ø 儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
Ø 儀器采用了*新電子技術(shù)進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
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技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍
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電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□(可擴展)；
電導率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω；
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可測晶片直徑
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140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
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恒流源
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電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
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四探針探頭基本指標
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間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
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0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
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整機測量*大相對誤差
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(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
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整機測量標準不確定度
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≤5%
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計算機通訊接口
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并口
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標準使用環(huán)境
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溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
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上海麥聚瑞電子儀器有限公司是一家集生產(chǎn)、研發(fā)以及產(chǎn)品代理經(jīng)銷、產(chǎn)品技術(shù)培訓和提供解決方案的專業(yè)儀器儀表公司
主要銷售：LCR數(shù)字電橋,扭力測試儀, 瓶蓋扭力測試儀,耐壓測試儀,電子負載, 數(shù)字示波器,控耐壓測試儀,直流低電阻測試儀,過程校 驗儀,變壓器測試儀,臺式萬用表,匝間絕緣測試儀,扭力扳手,測試儀器,工具,等等測量儀器。
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公司名稱：上海麥聚瑞電子儀器有限公司
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文章標題：型四探針測試儀RTS-8
頁面關鍵詞：LCR數(shù)字電橋 扭力測試儀 瓶蓋扭力測試儀 耐壓測試儀 電子負載 數(shù)字示波器（點擊關鍵詞可計入相應的產(chǎn)品目錄）
Ø RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
Ø 測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
